欧姆龙7月将推出MEMS真空封装气压传感器2013/07/11

欧姆龙2013年7月29日开始销售新款“绝对压力传感器”，绝对压力传感器检测的是以理论真空为基准的压力值。新产品利用MEMS技术对传感器芯片内部实施真空封装处理，从而实现了对绝对压力的测量，预计7月份之后会推出采用MEMS技术实施真空封装的气压传感器。

欧姆龙早在2012年夏季就完成了产品开发，之后一直在野洲事务所（位于日本滋贺县野洲市）推进量产准备工作。新产品的价格为开放式，目标是2015年实现6亿日元的销售额。设想的应用领域是要求获取高质量运动信息和生活信息的可穿戴式设备以及保健装置。

新产品的分辨率为0.06Pa（相当于5mm），误差为±6Pa；可准确捕捉1250px高低差的气压变化；检测范围为300～1100hPa；封装尺寸为3.8mm×3.8mm×0.92mm；芯片是尺寸为1.9mm×1.9mm×0.5mm的CMOS电路、MEMS传感器一体型。新产品的性能参数与开发工作刚完成时相同，但消耗电流由当初的0.5μ～9.5μA降到了0.3μ～9.0μA。